半導体C-V測定の基礎



開催日2010年05月26日
開催時間午前10時より(日本時間)
概要 半導体の基本測定であるC-V(容量-電圧)特性測定の基礎技術をやさしく解説します。

内容は、
1.  CVメータの概要と選択(MOSキャパシタのCV測定)
2.  CV試験、解析での代表的な制限事項
3.  プローブステーションの接続と補正
4.  代表的なCV誤差とその補正
5.  興味深いアプリケーション例

(最後にライブでのQ&Aセッションがあります)
関連製品
 
4210-CVU CV測定器
(4200半導体特性評価システムに装着)
 2636A型 2チャンネル1fA
システムソースメータ
期待する参加者 測定対象物(DUT)が、
  • 半導体材料・デバイス
  • ナノテク材料・デバイス
  • 高抵抗の材料・部品
  • 絶縁材料
  • その他、C-V測定が必要なもの
C-V測定に関して、
  • 現在、課題を抱えている方
  • これから行おうとしている方
  • もう一度振り返ってみたい方
  • 一般的な知識を得たい方
担当エンジニア Lee Stauffer (リー・スタウファー)
Senior Staff Technologist
(本セミナの開発者、今回のプレゼンテーションは日本人が代行)

大学では、電気工学と物理学(修士)を専攻し、ケースレー入社以前は衛星通信システム、半導体工場(装置と製品技術)でキャリアを重ねた。ケースレーに入社して22年になるが、これまでアプリケーションエンジニア、技術開発エンジニアそしてビジネス開発にかかわり現在は、半導体測定グループのシニアスタッフとして活躍している。
言語 このセミナーは、日本語で行われます。ご質問に対しても専門家が口頭の日本語でお答えします。参加者の皆様は、プレゼンテーション中および質疑応答時間に、日本語で入力してご質問をお送りいただくことができます。
ご注意 ライブセミナー終了後、アンケートを送信いただきますと、iPod nano が当たる抽選に応募いただけます。